Сборочный узел линзы объектива для связанного с окружающей средой растрового электронного микроскопа и апертурный держатель для него
Использование изобретение относится к объединенной электронно-оптической системе детектирования сигнала изображения с дифференциальным откачиванием для растрового электронного микроскопа, связанного с окружающей средой. Сущность изобретения: узел включает цилиндрический магнитный корпус линзы объектива, содержащий аксиально расположенную вакуумную трубчатую втулку и устройство магнитного...