9-диэтиламино-3-метакрилоилокси-5н-бензо[ @ ]феноксазин-5- дицианметилен в качестве термонапыляемого фоторезиста для сухой литографии
Изобретение относится к гетероциклическим соединениям, в частности к 9-диэтипамино-3-метакрилоилокси-5Н- бензо а феноксазин-5-дицианметилену, который может использоваться в качестве термонапьшяемого фоторезиста для сухой литографий. Цель - выявление соединения, обладающего полеэными свойствами. Получение ведут из смеси едкого натра в воде, диоксана, 9-диэтиламино-3-гидгюкси-5Н-бе...