Способ изготовления моноп-ячейки памяти, ячейка памяти и матричный накопитель на ее основе
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания ЭРПЗУ с повышенной информационной плотностью на основе МОНОП-транзисторов, в частности, перепрограммируемых инжекцией горячих носителей заряда. Сущность изобретения: в качестве ячейки памяти применяют МДП-транзистор, содержащий боковой спейсерный затвор. Диэлектриком под боковым затвором служит структура SiO2-...