H03H3/08 - для изготовления резонаторов или цепей (схем) с использованием поверхностных акустических волн

Способ изготовления преобразователя поверхностных акустических волн

-г l (72) Авторы изобретения Г.А.Чалабян и Б.Н.Пирогов - -". - - ".-,„. f 1 .. 1 k ! е Ленинградский институт авиационного приборостроенй : (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН Изобретение относйтся к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении устройств обработки сигнапов. Известен способ изготовления пр...

881980

Устройство для защиты нагрузки от токовых перегрузок

Изобретение относится к электротехнике , в частности к устройствам защиты от аварий, осуществляющим автоматическое отключение и реагирующим на токовые перегрузки без последующего восстановления сокращения, и может быть использовано в цепях постоянного тока с нестабилизированным источником напряжения. Целью изобретения является HOBbuueinie надежности путем исключения ложных срабат...

1319247

Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к радиоэлектронике. Цель изобретения - повышение качества изготавливаемых устройств. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах, включает формирование на пьезоэлектрической подложке токопроводящего слоя электродов и электрических шин встречно-штыревых преобразователей (ВШП), одновременное формирование между электрическими шинами ВШП токопрово...

1419474

Способ изготовления элементов устройств, работающих на акустических волнах

Изобретение относится к радиоэлектронике . Целью изобретения является повышение процента выхода годных . Способ изготовления элементов устройств, работающих на акустических волнах включает формирование с помощью маскирующего слоя фоторезиста на рабочей поверхности звукопровода 2 группы полосок первого металлического слоя 3 методом обратной фотолитографии , формирования поверх нее...

1535332

Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является повышение достоверности способа аттестации мер периодических типа растровой решетки. Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки в маскирующем слое на прозрачной аморфной подложке включает формирование методом контактной литографии на монокристаллической пьезоэлектрической подложке решетки - копии в виде к...

1648232

Способ изготовления пьезокерамических фильтров на поверхностных акустических волнах по групповой технологии

Изобретение относится к радиоэлектронике . Целью изобретения является увеличение выхода годных при изготовлении пьезокерамических фильтров на ловерхноИзобретение оттносится к групповой технологии изготовления телевизионных пьезокерамических фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и может быть использовано при их массовом производстве в заводских условиях. Целью изобре...

1739477

Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение точности настройки. Предварительную настройку частоты производят путем отжига кристаллов в атмосфере водорода при 250 - 450°С, а обработку в плазме аргона проводят в течение соответствующего времени. Проводится соотношение врем...

1750406

Способ подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления приборов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение процента выхода годных приборов за счет увеличения точности подстройки центральной частоты прибора. В способе подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах, включающем измерение центральной частоты п...

1750407

Способ подстройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов. Обработку рабочей поверхности кристалла резонаторов пучком ионов аргона ведут при энергии 4 - 5 кэВ в течение 2 - 15 мин, а плазмохимическое травление проводят в течение 1 - 8 мин. 1 табл. Из...

1762726

Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов за счет повышения адгезии фоторезиста к поверхности подложки. При обработке поверхности пьезоэлектрической подложки проводят ионно-химическое травление на глубину 80 - 120 нм, при этом использу...

1762727

Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - увеличение процента выхода годных резонаторов. В предложенном способе настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах перед измерением центральной частоты дополнительно проводят обработку резонатора в плазм...

1783947

Способ изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение выхода годных резонаторов. Для этого в способе изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах после напыления металла наносят второй слой фоторезистора, в котором вскрывают окна над структурами...

1783948

Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к акустоэлектронике и может найти применение при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения уменьшение ухода центральной частоты узкополосного прибора на ПАВ заключается в напылении на всю поверхность пьезоэлектрической пластины с предварительно сформированными на ее рабочей поверхности входным и выходным встречно-штыревыми...

1797733

Способ изготовления встречно-штыревого преобразователя поверхностных акустических волн

СО103 СОВ ЕТС КИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУйЛИК (51)5 Н 03 Н 3/08 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГOlCllATEHT CCCP) ! ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Х ra Я и (2 )) 4923111/22 (22) 29,03.91 (4 ) 30.08.93,Бюл. М 32 (71) Институт радиотехники и электроники АН СССР (72) А.С. Андреев, А.A. Белявский, A.M..Kìèта, и И.А. Марков (73) Институт радиотехники и электроники...

1838877

Фильтр на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области акустоэлектроники и может быть использовано при изготовлении узкополосных и сверхузкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Технический результат - уменьшение ухода центральной частоты узкополосного фильтра на ПАВ при изменении температуры окружающей среды. Узкополосный фильтр на ПАВ, состоящий из пьезоэлектрической подложки со сформи...

2155440

Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано при разработке и изготовлении узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с низким температурным коэффициентом частоты (ТКЧ). Технический результат - упрощение способа, позволяющего подстраивать в процессе работы центральную частоту узкополосного прибора на ПАВ без использования дополнительного источн...

2155441

Способ настройки на центральную частоту узкополосного устройства на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области акустоэлектроники и может найти применение при изготовлении устройств на поверхностных акустических волнах. Технический результат изобретения - уменьшение трудоемкости изготовления узкополосного устройства на поверхностных акустических волнах. Способ настройки на центральную частоту узкополосного устройства на поверхностных акустических волнах с пьезоэлектр...

2157587

Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к акустоэлектронике и может найти практическое применение при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах. Техническим результатом является уменьшение трудоемкости изготовления узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах. Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах с пьезоэлектрическ...

2168849

Способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью

Способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью относится к области пьезотехники и может быть использован при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров. Достигаемый технический результат - уменьшение полосовой и внеполосовой интермодуляции и повышение процента выхода годных кварцевых резонаторов и фильтров. Спосо...

2174736

Способ настройки на центральную частоту сверхузкополосного элемента на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к акустоэлектронике и может найти применение при изготовлении устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Техническим результатом является уменьшение трудоемкости изготовления сверхузкополосного элемента на ПАВ. Способ настройки на центральную частоту сверхузкополосного элемента на ПАВ заключается в том, что толщину алюминиевой пленки, из которой изготовлен...

2190922

Термостабильный фильтр на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области акустоэлектроники и может быть использовано при разработке и изготовлении узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с низким температурным коэффициентом частоты. Техническим результатом является увеличение температурной стабильности узкополосных приборов на ПАВ и уменьшение ухода центральной частоты при изменении температуры окружающей среды....

2284649

Способ изготовления кварцевого резонатора

Изобретение относится к изготовлению высокостабильных кварцевых резонаторов, которые могут быть использованы в радиотехнических системах автоматического управления. Обеспечение стойкости кварцевого резонатора к повышенной температуре и к жестким механическим нагрузкам является техническим результатом изобретения. Кварцевый пьезоэлемент с возбуждающими пленочными электродами помещают в упругие заж...

2397606

Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к области микроэлектроники, к технологии изготовления устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Достигаемый технический результат - изготовление устройств на ПАВ с высокой частотой за счет устранения образования непроанодированных островков алюминия и устранения подтравливания алюминиевых электродов. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических в...

2540784

H03H3/08 - для изготовления резонаторов или цепей (схем) с использованием поверхностных акустических волн

Патенты в этой категории