PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Иллюстрации к патенту 2484435

Способ измерения давления, способ калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Способ измерения давления, способ калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (патент 2484435)