СИЛИКА ТЕК, ЭлЭлСи (US)

Изобретение относится к способам получения трубок, прутков для применений оптического волокна и заготовок для ультрафиолетпропускающих оптических компонентов из диоксида кремния методом плазменного напыления. Техническим результатом изобретения является снижение загрязнений изделий. Плазменная горелка содержит наружную трубку из кварцевого стекла, окруженную индукционной катушкой, внутреннюю труб...

Изобретение относится к способу и установке для получения поликристаллического кремния и может найти применение при изготовлении солнечных элементов. Установка плазменного осаждения для получения поликристаллического кремния включает камерное средство для осаждения, средство для поддерживания подложки-мишени (104), имеющей поверхность осаждения (106) и множество горелочных средств (102) с индукти...

Изобретение относится к установке и способу плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов (варианты). Установка включает в себя конвейер, имеющий продольную ось для поддержания, по меньшей мере, одной подложки; по меньшей мере, два модуля, каждый имеющий, по меньшей мере, одну плазменную горелку для проведения осаждения слоя продукта реакции на, по меньшей мере, одной подложке, по ме...

Изобретение относится к устройству плазменного осаждения из паровой фазы для получения кремниевых тонкопленочных модулей солнечного элемента, к способу получения тонкопленочных модулей и к кремниевым тонкопленочным фотогальваническим панелям. Сущность изобретения: устройство плазменного осаждения из паровой фазы для получения кремниевых тонкопленочных модулей солнечного элемента включает средства...