Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Патент 1031367

Авторы

Вершинина Н.В.
Герасименко Н.Н.

Классы МПК

H01L21/263 - с высокой энергией (H01L 21/261 имеет преимущество)

Способ обработки структур кремний-двуокись кремния

Реферат

Способ обработки структур кремний - двуокись кремния, включающий термообработку структур в интервале 200-300^oC и одновременное облучение электронами, отличающийся тем, что, с целью пониженного избыточного положительного заряда в структурах, облучение осуществляют электронами энергией 0,18-3,5 Мэв дозой 10¹⁴-10¹⁵ элсм^-2.