Способ создания силицидов металлов

Способ создания силицидов металлов

Реферат

Способ создания силицидов металлов, включающий нанесение металла на кремний и нагрев структуры "металл-кремний" СВЧ-излучением с основной частотой 950 МГц - 1000 ГГц, плотностью поглощенной энергии излучения 0,2 - 2 кДж/см² в течение 1 - 10³ с, отличающийся тем, что, с целью повышения качества силицидных слоев и упрощения технологического процесса, перед СВЧ-нагревом нанесенный металлический слой облучают ионами элементов, обладающих электроотрицательностью меньшей чем электроотрицательность нанесенного металла, причем Э_м - Э_э = Э 0.5 эВ, где Э_м - электроотрицательность нанесенного металла, Э_э - электроотрицательность элемента, ионами которого облучают нанесенный металл; при этом доза облучения составляет 5 10¹⁵ - 10¹⁸ ионов/см², а его энергия - 5 - 100 кэВ.