Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла

Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла

Реферат

Способ создания локальных пленок алюмосиликатного стекла на поверхности кремниевой пластины, включающий осаждение пленки по всей площади пластины, формирование на пленке маски из фоторезиста, травление пленки при температуре 15 - 30^oC в водном растворе фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и ортофосфорной кислоты и удаление фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества рисунка пленок алюмосиликатного стекла толщиной 0,3 - 1,5 мкм при содержании в нем окисла алюминия 7 - 70 мас.%, травление проводят при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: Фтористый аммоний - 13 - 18 Фтористоводородная кислота 49^o - 4 - 7 Ортофосфорная кислота 70^o - 42 - 62 Вода - 21 - 33