Способ получения п-слоев в антимониде индия

Способ получения п-слоев в антимониде индия

Реферат

Способ получения n-слоев в антимониде индия, включающий компенсацию исходного чистого антимонида индия акцепторной примесью, изготовление из него подложек p-типа и облучение их лазерным излучением, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности создания новых классов приборов за счет повышения подвижности электронов в слоях толщиной порядка 1 мкм, в качестве акцепторной примеси используют германий, а облучение ведут на длине волны 10,6 мкм в импульсно-периодическом режиме с длительностью импульса 3 (10^-6 - 10^-4) с, количеством импульсов 10 - 50, длительностью пакета импульсов не более 0,5 с, общей длительностью процесса 0,05 - 1,5 с и плотностью энергии в импульсе 3,5 - 6,5 Дж/см².