Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров
Патент 1151148
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров
Реферат
Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров, включающий облучение тиристорных структур, выполненных из бестигельного кремния, электронами с последующим термоотжигом, отличающийся тем, что, с целью оптимизации параметров тиристоров, облучение проводят дозой (4 - 10) 1014 см-2 и термоотжиг проводят при температуре 425 - 440oC в течение 2 - 3 ч.