Способ изготовления локальных металлических зон

Способ изготовления локальных металлических зон

Реферат

 

1. Способ изготовления локальных металлических зон для зонной перекристаллизации в поле температурного градиента, включающий нанесение на поверхность кремниевой подложки защитного слоя, вскрытие в нем окон, приведение подложки в контакт с жидким металлом - растворителем и удаление жидкой фазы с поверхности защитного слоя, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и улучшения качества зон за счет повышения их однородности и уменьшения потерь летучих компонентов, изготавливают окна в защитном слое шириной 4,5·10^-4 ÷ 4·10^-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 670-1200°C в течение 0,01 ÷ 10 с.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при изготовлении кремнийалюминиевых зон с содержанием алюминия 17, 4 - 40 мас.% изготавливают окна в защитном слое шириной 10^-3 ÷ 4·10^-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 670-900°C в течение 0,01 - 1,05 с.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при изготовлении кремнийолово-сурьмяных зон с содержанием сурьмы 15 - 20 мас.% изготавливают окна в защитном слое шириной 4,5·10^-4 ÷ 2,5·10^-3 см, а контактирование осуществляют при температуре 900 - 1200°C в течение 0,3 - 10 с.