Способ изготовления джозефсоновского мостикового перехода

Способ изготовления джозефсоновского мостикового перехода

Реферат

Способ изготовления джозефсоновского мостикового перехода, содержащего два сверхпроводящих электрода, разделенных зазором, включающий последовательное нанесение на несверхпроводящую подложку первой пленки сверхпроводящего материала и пленки маскирующего материала, формирование контактной маски, формирование ионным травлением первого сверхпроводящего электрода, формирование на его торце буферного диэлектрического слоя, определяющего размер зазора между электродами, нанесение второй пленки сверхпроводящего материала, формирование в ней второго сверхпроводящего электрода, удаление контактной маски, нанесение пленки материала перемычки и формирование перемычки между электродами в области зазора, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости параметров мостиковых переходов, буферный диэлектрический слой формируют путем электрохимического анодирования торца первого электрода, а перед нанесением пленки материала перемычки полируют поверхность структуры пучком ионов инертного газа, направленным под углом 2-12° к поверхности подложки с энергией ионов 50-500 эВ.