Способ определения глубины дефектов на поверхности объекта

Способ определения глубины дефектов на поверхности объекта

Реферат

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для определения глубины раковин , треш,ин и других микродефектов на поверхности катодов. Цель изобретения - расширение диапазона измерения. Пучок лучей от источника 1 некогерентного света направляют на наклонную плоскопараллельную пластину 2, покрытую светоделительным слоем, и разделяют на два пучка, один из которых отражается от светоделительного слоя и образует первую ветвь интерферометра , вторая половина пучка, пройдя сквозь пластину 2, образует вторую ветвь. После прохождения первого пучка лучей объектива 3 и отражения от повер.хности объекта 7, а второго - от эталонного зеркала 5 оба пучка соединяют на поверхности разделительной пластины 2. В результате сложения двух пучков в фокальной плоскости окуляра 6 наблюдают систему интерференционных полос на изображении объекта 7. Далее передвигают объект 7, изменяя расстояние между объектом 7 и разделительной пластиной 2, до возникновения второй системы интерференционных полос в области дефекта . Измеряют расстояние между соответствующими интерференционными полосами каждой из двух систем и рассчитывают глубину дефекта по формуле. 2 ил. ( СЛ