Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором

Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором

Реферат

Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором, содержащий органический растворитель, ортофосфорную кислоту и пленкообразующий компонент, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня легирования диффузионных слоев толщиной более 50 мкм, в качестве пленкообразующего компонента используют эфир германия Ge(OC_nH_2n+1)₄ где 3 n 6, при следующем соотношении компонентов, мас.%: Органический растворитель - 45 - 70 Ортофосфорная кислота (70%-ная) - 20 - 40 Эфир германия - 5 - 20