Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев

Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев

Реферат

Способ измерения деформации кристаллической структуры поверхностных слоев в контролируемом образце, включающий измерение угловой зависимости дифрагированной волны многокристальным рентгеновским дифрактометром и определение деформации по этой зависимости, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, изготавливают тестовый образец из того же материала и по технологии, полностью соответствующей контролируемому образцу, деформирующим воздействием на поверхности исследуемого образца формируют периодическую структуру из чередующихся с постоянным периодом из интервала значений от 0,1 мкм до 2 длин экстинкции рентгеновского излучения областей с нарушенной и ненарушенной структурой, определяют деформацию в тестовом образце по интенсивности сателлитных пиков, возникающих при дифракции рентгеновского излучения на периодических нарушениях поверхности, и по ней судят о деформации контролируемого образца.