Способ изготовления джозефсоновского перехода с непосредственной проводимостью

Способ изготовления джозефсоновского перехода с непосредственной проводимостью

Реферат

Способ изготовления джозефсоновского перехода с непосредственной проводимостью, включающий последовательное нанесение на подложку в едином вакуумном цикле сверхпроводящей пленки нижнего электрода, аморфной полупроводниковой пленки, легирование ее до вырождения на всю толщину атомами материала верхнего электрода, нанесение сверхпроводящей пленки верхнего электрода и формирование площади перехода методами тонкопленочной литографии, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости параметров переходов, нанесение аморфной полупроводниковой пленки осуществляют в режимах, обеспечивающих относительную атомную плотность материала пленки не менее 5%, а нанесение сверхпроводящей пленки верхнего электрода осуществляют в режимах, обеспечивающих легирование аморфной полупроводниковой пленки на всю толщину атомами материала верхнего электрода.