Способ диффузии алюминия и галлия в кремниевые пластины

Способ диффузии алюминия и галлия в кремниевые пластины

Реферат

Способ диффузии алюминия и галлия в кремневые пластины, включающий очистку поверхности, осаждение из растворов легированных пленок, складывание пластин одноименными сторонами в стопку, загрузку в окислительной атмосфере в реактор диффузионной печи, нагретой до температуры ниже температуры диффузии, выдержку при этой температуре для проведения деструкции, нагрев до температуры диффузии в потоке газа и термообработку, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров изготавливаемых силовых полупроводниковых структур на основе полированных пластин за счет повышения времени жизни дырок и повышения воспроизводимости легирования, стопку пластин предварительно помещают в заваренный с одного конца контейнер, а загрузку контейнера проводят при температуре 600 - 850^oC и после выдержки в течение 1 - 15 мин заполняют контейнер неокисляющим газом.