Способ определения подвижности носителей заряда в эпитаксиальных слоях на изолирующей подложке

Способ определения подвижности носителей заряда в эпитаксиальных слоях на изолирующей подложке

Реферат

Способ определения подвижности носителей заряда в эпитаксиальных слоях на изолирующей подложке, заключающийся в создании поверхностного барьерного контакта к эпитаксиальному слою, приложении к структуре высокочастотного тестирующего напряжения и напряжения постоянного смещения, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения подвижности у границы раздела подложка - пленка, к структуре дополнительно прикладывают низкочастотное модулирующее напряжение и измеряют зависимость сигнала производной емкости по напряжению от напряжения смещения, находят отношение сигнала в максимуме измеренной зависимости к сигналу при нулевом смещении, после чего по величине этого отношения по предварительно рассчитанной монограмме находят подвижность носителей заряда у границы раздела подложка - пленка.