Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла

Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла

Реферат

Способ изготовления микрорисунка в многослойной структуре с полицидом тугоплавкого металла, нанесенным на микрорельеф из двуокиси кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности структуры с полицидом тугоплавкого металла, реактивно-ионное травление полицида в окнах маски в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом при давлении 1,0-8,0 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,3-0,6 Вт/см ², отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных структур за счет повышения анизотропности травления и создания вертикального профиля травления, травление полицида тугоплавкого металла в смеси гексафторида серы с хлорсодержащим газом приводят до вскрытия планарных поверхностей микрорельефа из двуокиси кремния и удаляют остатки полицида с поверхности микрорельефа в смеси, содержащей четыреххлористый углерод и 30-50 об.% азота, при давлении 8-20 Па и плотности мощности разряда на поверхности полицида 0,4-0,6 Вт/см².