Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку
Патент 1786963
Авторы
Классы МПК
Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку
Реферат
Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку, включающий обработку подложки и формирование слоя полиимидной смолы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, обработку подложки осуществляют в плазме, содержащей ионы фтора, в течение 1-100 с, а перед формированием слоя полиимидной смолы подложку выдерживают в атмосфере, содержащей аммиак в течение 1-1000 с.