Устройство для диагностирования ис озу
Предложенное изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления интегральных схем (ИС) оперативно запоминающих устройств (ОЗУ), а также для причин их отказов. Цель изобретения - повышение точности диагностики и увеличение функциональных возможностей контроля полупроводниковых изделий с использованием информационно-энергетического метода. Устройство для диагностирования интегральных схем оперативно запоминающих устройств состоит из блока задания режима воздействия, выход которого соединен с входом исследуемой ИС, электронно-вычислительной машины (ЭВМ), монитора, платы сопряжения ИС с ЭВМ, платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, блока управления и запуска, причем выход исследуемой ИС соединен с входом платы сопряжения ИС с ЭВМ, а выход платы сопряжения ИС с ЭВМ - с ЭВМ, при этом выход блока задания режима воздействия соединен с входом платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, а выход платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ - с ЭВМ, причем ЭВМ соединена с входом блока управления и запуска, а выход блока управления и запуска - с входом блока задания режима воздействия. 1 ил.
Реферат
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления интегральных схем оперативно запоминающих устройств (ИС ОЗУ), а также для причин их отказов.
Известно множество диагностических методов контроля качества и надежности ИС (НЧ шум, интегральные ВАХ, m-характеристики и др.). Преимуществом информационно-энергетического метода для диагностики ИС ОЗУ являются большие функциональные возможности [1].
Наиболее близким является устройство, предложенное в источнике [2]. Структурная схема устройства для диагностики информационно-энергетическим методом, предлагаемая в источнике [2], является установкой аналогового типа, состоящей из блока задания воздействия, эталонной ИС, блока вычитания, преобразователя ток-напряжение, интегратора, аналогового запоминающего устройства, компаратора и блока результатов и контроля. Результаты компарирования обрабатываются блоком контроля по принципу "годен - брак". При этом контроль производится в каждом цикле (записи) или считывания при обращении к каждой ячейке, т.е. просматривается вся матрица ОЗУ (все ячейки памяти). Недостатком данной установки является большая погрешность измерений и невозможность автоматизирования процесса измерений.
Цель изобретения - повышение точности диагностики и увеличение функциональных возможностей контроля ППИ с использованием информационно-энергетического метода.
Это достигается введением дополнительно платы сопряжения ИС с ЭВМ, платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, блока управления и запуска и применением ЭВМ.
Предлагаемая схема установки лишена указанных недостатков. Блок-схема изображена на чертеже. Она состоит из блока задания режима воздействия типа бегущий "0" или бегущая "1" 1, блока управления и запуска 2, исследуемой ИС 3, платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ 4, платы сопряжения ИС с электронно-вычислительной машиной (ЭВМ) 5, ЭВМ 6 и монитора 7.
Устройство для диагностирования ИС ОЗУ, состоящее из блока задания режима воздействия 1, выход которого соединен с входом исследуемой ИС 3, ЭВМ 6 и монитора 7, при этом дополнительно введены плата сопряжения ИС с ЭВМ 5, платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ 4, блока управления и запуска 2, причем выход исследуемой ИС соединен с входом платы сопряжения ИС с ЭВМ, а выход платы сопряжения ИС с ЭВМ - с ЭВМ, при этом выход блока задания режима воздействия соединен с входом платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, а выход платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ - с ЭВМ, причем ЭВМ соединена с входом блока управления и запуска, а выход блока управления и запуска - с входом блока задания режима воздействия.
Преимуществом предложенной схемы устройства является то, что возможно накопление информации по конкретному типу исследуемой ИС ОЗУ, т.е. создание базы данных, что невозможно при использовании установки по аналоговому способу реализации информационно-энергетического метода. Также возможно применение современных статистических методов обработки полученных результатов, таких как определение коэффициентов корреляции, регрессионный анализ, применение метода наименьших квадратов и др.
Устройство работает следующим образом: на исследуемую ИС ОЗУ 3 с блока задания режима воздействия 1, управляемого блоком управления и запуска 2, вход которого соединен с ЭВМ и управляется ЭВМ в соответствии с программой, поступает тестовая последовательность типа бегущий 0 или бегущая 1, которая также поступает на ЭВМ 6, через плату сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ 4, с ИС 3 сигнал поступает в ЭВМ 6 через плату сопряжения 5. В ЭВМ 6 в соответствии с написанной программой выходные сигналы с испытуемой ИС 3 и с блока задания режима воздействия 1 вычитаются и дальнейшей обработке подвергается эта разность сигналов. Работа устройства состоит из двух этапов. На первом этапе накапливается статистика и формируется эталонная ИС, а на втором - производится разделение ИС в соответствии с заданными значениями параметров.
Источники информации
1. Горлов М.И., Ануфриев Л.П., Бордюжа О.Л. Обеспечение и повышение надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем в процессе серийного производства. Минск, 1997 г., 390 с.
2. РД 11 0682-89. Микросхемы интегральные. Методы неразрушающего контроля диагностических параметров.
Устройство для диагностирования интегральных схем оперативно-запоминающих устройств (ИС ОЗУ), состоящее из блока задания режима воздействия, выход которого соединен с входом исследуемой ИС, электронно-вычислительной машины (ЭВМ) и монитора, отличающееся тем, что дополнительно введены плата сопряжения ИС с ЭВМ, платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, блока управления и запуска, причем выход исследуемой ИС соединен с входом платы сопряжения ИС с ЭВМ, а выход платы сопряжения ИС с ЭВМ - с ЭВМ, при этом выход блока задания режима воздействия соединен с входом платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ, а выход платы сопряжения блока задания режима воздействия с ЭВМ - с ЭВМ, причем ЭВМ соединена с входом блока управления и запуска, а выход блока управления и запуска - с входом блока задания режима воздействия.