Способ изготовления электродной структуры для электровакуумного прибора

Способ изготовления электродной структуры для электровакуумного прибора

Реферат

 

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования алюминиевой заготовки, отличающийся тем, что, с целью изготовления многоэлектродной структуры, перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью упрощениия технологии изготовления электродной структуры, микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа. Изобретение относится к электронной технике. Известен способ изготовления электронной структуры для электровакуумных приборов, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования. Предлагаемый способ позволяет изготавливать многоэлектродные структуры. Для этого перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением. Микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа, что упрощает технологию изготовления электродной структуры. Способ осуществляют следующим образом. Для получения многоэлектродной структуры, например анодно-сеточной, заготовку в виде алюминиевой пластины устанавливают под многопуансонный инструмент, которому сообщают ультразвуковые колебания, и на одной стороне ее отпечатывают рельефы анодно-сеточных узлов и их контуры. Заэкранировав обратную сторону алюминиевой пластины защитной пленкой лака АК-20, выполняют электрохимическое анодирование алюминия, например в 5%-ном растворе щавелевой кислоты, до требуемой толщины диэлектрического слоя. Со стороны диэлектрического слоя методом вакуумного напыления через защитные маски одновременно наносят пленочные аноды, щелевые сетки и их выводы, оканчивающиеся контактными площадками. Затем диэлектрический слой с нанесенными пленочными элементами анодно-сеточных узлов отделяют от алюминиевой пластины растворением алюминия в растворах, не взаимодействующих со слоем Al₂O₃ и материалом пленочных элементов, например в растворе брома в метаноле при выполнении пленочных элементов из никеля. Полученный блок анодно-сеточных узлов разделяют по границам контуров механическим путем, например кратковременной вибрацией.

Формула изобретения

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования алюминиевой заготовки, отличающийся тем, что, с целью изготовления многоэлектродной структуры, перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью упрощениия технологии изготовления электродной структуры, микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа.