Способ изготовления электродной структуры для электровакуумного прибора

Реферат

 

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования алюминиевой заготовки, отличающийся тем, что, с целью изготовления многоэлектродной структуры, перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью упрощениия технологии изготовления электродной структуры, микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа. Изобретение относится к электронной технике. Известен способ изготовления электронной структуры для электровакуумных приборов, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования. Предлагаемый способ позволяет изготавливать многоэлектродные структуры. Для этого перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением. Микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа, что упрощает технологию изготовления электродной структуры. Способ осуществляют следующим образом. Для получения многоэлектродной структуры, например анодно-сеточной, заготовку в виде алюминиевой пластины устанавливают под многопуансонный инструмент, которому сообщают ультразвуковые колебания, и на одной стороне ее отпечатывают рельефы анодно-сеточных узлов и их контуры. Заэкранировав обратную сторону алюминиевой пластины защитной пленкой лака АК-20, выполняют электрохимическое анодирование алюминия, например в 5%-ном растворе щавелевой кислоты, до требуемой толщины диэлектрического слоя. Со стороны диэлектрического слоя методом вакуумного напыления через защитные маски одновременно наносят пленочные аноды, щелевые сетки и их выводы, оканчивающиеся контактными площадками. Затем диэлектрический слой с нанесенными пленочными элементами анодно-сеточных узлов отделяют от алюминиевой пластины растворением алюминия в растворах, не взаимодействующих со слоем Al2O3 и материалом пленочных элементов, например в растворе брома в метаноле при выполнении пленочных элементов из никеля. Полученный блок анодно-сеточных узлов разделяют по границам контуров механическим путем, например кратковременной вибрацией.

Формула изобретения

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, содержащий операции полировки алюминиевой заготовки, формирования на ней электродов с выводами и электрохимического анодирования алюминиевой заготовки, отличающийся тем, что, с целью изготовления многоэлектродной структуры, перед операцией полировки на поверхности алюминиевой заготовки выполняют микрорельеф для размещения электродов и контур многоэлектродной структуры, а формирование электродов с выводами выполняют после операции электрохимического анодирования вакуумным напылением. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью упрощениия технологии изготовления электродной структуры, микрорельеф выполняют многопуансонным инструментом, совершающим ультразвуковые колебания и осуществляющим полировку микрорельефа.