Способ определения количества кремния в пленках алюминия
Патент 635789
Авторы
Классы МПК
Способ определения количества кремния в пленках алюминия
Реферат
Способ определения количества кремния в пленках алюминия путем электрохимического анодного растворения контролируемой пленки с последующим определением количества электричества, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности при определении до 0,1 вес.% количества кремния в пленке алюминия, контролируемую пленку предварительно наносят на подложку - свидетель из кремния n-типа, затем производят нагрев системы до температуры 500-550oC с последующим охлаждением со скоростью 10-15 град/мин.