Способ повышения радиационной стойкости кремния
Патент 847839
Авторы
Классы МПК
Способ повышения радиационной стойкости кремния
Реферат
Способ повышения радиационной стойкости кремния, включающий термическую обработку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических свойств кремния, термическую обработку проводят в интервале температур 500 - 600oC в течение 100 - 800 ч в неактивной среде.