Способ создания силицидов металлов

Способ создания силицидов металлов

Реферат

Способ создания силицидов металлов, включающий нанесение металлической пленки на кремний и импульсный нагрев структуры, кремний - металлическая пленка, отличающийся тем, что, с целью повышения качества силицидных слоев при одновременном сохранении свойств исходного кремния, структуру нагревают импульсами СВЧ-излучения со следующими параметрами: длительность отдельного импульса менее 10^-5 с и временные промежутки между ними 10^-2 -10^-1с, частота СВЧ-излучения 30 МГц - 100 ГГц, плотность поглощения энергии СВЧ-импульса рассчитывается по формуле E c Т_п d_м (Дж/см²), где С - теплоемкость пленки металла Т_п - температура плавления металла, d_м - толщина пленки металла.