Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце

Контейнер для выращивания кристаллов из расплава и способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце

Реферат

 

1. Контейнер для выращивания кристаллов из расплава, выполненный из кварца с углеродсодержащей облицовкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения смачивания стенок контейнера расплавом и обеспечения возможности наблюдения за процессом кристаллизации, облицовка выполнена из -карбида кремния в виде пленки с шероховатой поверхностью.

2. Способ получения углеродсодержащей облицовки на кварце путем термического разложения CH₃SiCl₃ в потоке водорода, отличающийся тем, что, с целью получения облицовки в виде оптически прозрачной шероховатой пленки, осаждение ведут при концентрации CH₃SiCl₃ в водороде 0,05-0,5 об.%, перемещая зону нагрева со скоростью 0,125-2,0 м/ч вдоль направления газового потока при его скорости 4,66-7,56 м/ч.