Федорец В.Н.
Изобретатель Федорец В.Н. является автором следующих патентов:
![Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах
(19)SU(11)1228722(13)A3(51) МПК 5 H01L21/306(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью изобр...
1228722![Способ подстройки частоты кварцевых резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ подстройки частоты кварцевых резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ подстройки частоты кварцевых резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к области радиоэлектроники. Целью изобретения является расширение пределов подстройки частоты и повышение ее точности. Подстройку частоты кварцевого резонатора на поверхностных акустических волнах осуществляют после измерения его частоты и сравнения ее с заданной путем его нагрева в течение 20 - 40 мин. Температуру нагрева выбирают из выражения f/fo, где Т - температ...
1313314![Резонатор на поверхностных акустических волнах Резонатор на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Резонатор на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в резонаторах на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью изобретения является повышение технологичности конструкции резонатора. Резонатор на ПАВ содержит пьезоэлектрическую подложку 1, один или несколько встречно-штыревых преобразователей (ВШП) 2 ПАВ с электродами 3, расположенными в углублениях пьезоэлектрической подл...
1313317![Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является увеличения выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты. В процессе формирования системы канавок отражательных решеток резонатора на поверхностных акустических волнах их дополнительно вытравливают на величину, равную 10 - 15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала из ка...
1335110![Способ получения контактной маски на прозрачной подложке Способ получения контактной маски на прозрачной подложке](/img/empty.gif)
Способ получения контактной маски на прозрачной подложке
Изобретение может быть использовано на литографических операциях при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение точностных параметров маски за счет устранения отражения экспонирующего излучения от обратной стороны подложки (П). На обратную шлифованную поверхность (П) LiNBO3 наносится, например, вакуумным термическим напылением слой Cu. Толщина...
1398641![Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к радиоэлектронике. Цель изобретения - повышение качества изготавливаемых устройств. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах, включает формирование на пьезоэлектрической подложке токопроводящего слоя электродов и электрических шин встречно-штыревых преобразователей (ВШП), одновременное формирование между электрическими шинами ВШП токопрово...
1419474![Способ фотолитографии Способ фотолитографии](/img/empty.gif)
Способ фотолитографии
Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения - увеличение процента выхода годных за счет получения в слое фоторезиста при "обратной" фотолитографии профиля с отрицательным углом наклона. На подложку наносят слой позитивного фоторезиста. Проводят его селективное экспонирование через фотошаблон. В проявитель добавляют 1 - 5 об. % растворителя фоторезиста, например ацетона или...
1450671![Способ поверки меры Способ поверки меры](/img/empty.gif)
Способ поверки меры
Изобретение относится к измерительной технике для калибровки увеличения и системы позиционирования оптических и электронных микроскопов. Целью изобратения является удешевление поверки за счет использования радиотехнических методов. Калибровка меры 1, представляющей собой систему параллельных полос 2 с постоянным периодом, осуществляется путем облучения ее поверхностной акустической волной...
1489351![Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки](/img/empty.gif)
Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки
Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является повышение достоверности способа аттестации мер периодических типа растровой решетки. Способ аттестации мер периодических типа растровой решетки в маскирующем слое на прозрачной аморфной подложке включает формирование методом контактной литографии на монокристаллической пьезоэлектрической подложке решетки - копии в виде к...
1648232![Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов](/img/empty.gif)
Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов
Изобретение относится к измерительной технике, к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение точности аттестации и проверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. Мера состоит из подложки, на которой сформирована система параллельных металлических полос с контактными площадкам...
1663999![Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение точности настройки. Предварительную настройку частоты производят путем отжига кристаллов в атмосфере водорода при 250 - 450°С, а обработку в плазме аргона проводят в течение соответствующего времени. Проводится соотношение врем...
1750406![Способ подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах Способ подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления приборов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение процента выхода годных приборов за счет увеличения точности подстройки центральной частоты прибора. В способе подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах, включающем измерение центральной частоты п...
1750407![Способ подстройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ подстройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ подстройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов. Обработку рабочей поверхности кристалла резонаторов пучком ионов аргона ведут при энергии 4 - 5 кэВ в течение 2 - 15 мин, а плазмохимическое травление проводят в течение 1 - 8 мин. 1 табл. Из...
1762726![Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов за счет повышения адгезии фоторезиста к поверхности подложки. При обработке поверхности пьезоэлектрической подложки проводят ионно-химическое травление на глубину 80 - 120 нм, при этом использу...
1762727![Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - увеличение процента выхода годных резонаторов. В предложенном способе настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах перед измерением центральной частоты дополнительно проводят обработку резонатора в плазм...
1783947![Способ изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах Способ изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах](/img/empty.gif)
Способ изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение выхода годных резонаторов. Для этого в способе изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах после напыления металла наносят второй слой фоторезистора, в котором вскрывают окна над структурами...
1783948