Глебовский Вадим Георгиевич (RU)

Группа изобретений относится к области металлургии черных и цветных металлов и может быть использована при выращивании монокристаллов и вакуумном рафинировании различных материалов с помощью электронно-лучевой зонной плавки. Техническая задача - повышение эффективности выращивания монокристаллов металлов и сплавов с заданными геометрическими и кристаллографическими параметрами. В способе электронн...

Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве слитков высокочистого молибдена высокого металлургического качества и листового проката из высокочистого молибдена для использования в микроэлектронике, квантовой электронике и электротехнике. Способ производства молибдена высокой чистоты включает вакуумное рафинирование электронно-лучевым переп...

Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве слитков высокочистого вольфрама высокого металлургического качества, а также листового проката из высокочистого вольфрама для использования в микроэлектронике, квантовой электронике, гелиотехнике и электротехнике. Способ производства вольфрама высокой чистоты включает вакуумное рафинирование пер...

Изобретение относится к способу производства молибдена высокой чистоты и может быть использовано при производстве слитков высокочистого молибдена, а также листового проката из высокочистого молибдена для использования в микроэлектронике, квантовой электронике и электротехнике. Способ включает вакуумное рафинирование электронно-лучевым переплавом и кристаллизацией расплава. Рафинирование ведут дв...

Изобретение относится к вольфрам-титановым мишеням для магнетронного распыления и способам их получения и может быть использовано в микроэлектронике. Согласно способу осуществляют глубокое вакуумное рафинирование многократным переплавом вольфрама и титана с получением поликристаллических слитков титана и монокристаллов вольфрама. Далее из поликристаллического слитка титана изготавливают диск, в...

Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве распыляемых металлических мишеней для нанесения тонкопленочной металлизации СБИС различного назначения в микроэлектронике. Способ производства распыляемых мишеней заключается в использовании жидкофазного синтеза компонентов кремния и тугоплавких металлов до получения стехиометрических дисилици...

Изобретение относится к металлургии высокочистых металлов и может быть использовано при выращивании трубчатых кристаллов вольфрама электронно-лучевой вертикальной зонной плавкой с использованием кольцевого затравочного кристалла. Способ осуществляют следующим образом. Сначала обрабатываемую трубчатую заготовку 4 из вольфрама устанавливают на нижней опорной трубе 2 держателя, на верхней части тру...

Изобретение относится к способу управления электронно-лучевой зонной плавкой и устройству для определения рабочего значения тока накала и может быть использовано при выращивании монокристаллов переходных и тугоплавких металлов и их сплавов и их вакуумном рафинировании. Способ включает разогрев источника электронов током накала, приложение разности потенциалов между источником электронов и держат...

Изобретение относится к электротехнике и вакуумной металлургии высокочистых тугоплавких металлов и позволяет повысить стабильность электронной термоэмиссии и эффективность аксиальной электронной пушки в условиях плавки тугоплавких металлов при подводе большой мощности. Аксиальная электронная пушка включает катодный узел, термокатод, разогревающий спиральный катод, анод, магнитные линзы, систему...

Изобретение относится к области металлургии цветных металлов, а именно к производству распыляемых металлических мишеней из молибдена, и может быть использовано в микроэлектронике для нанесения покрытий тонкопленочной металлизацией. Способ включает последовательное глубокое вакуумное рафинирование электронно-лучевым переплавом металлокерамической заготовки высокой чистоты с получением монокристал...

Изобретение относится к области металлургии, а именно к нержавеющим корозионно-стойким хромоникелевым аустенитным сталям, предназначенным для изготовления хирургических имплантатов в травматологии, ортопедии и стоматологии. Способ включает выплавку в вакуумной индукционной печи с финишным раскислением расплава и получением первичной литой нержавеющей стали. При этом осуществляют дополнительный в...

Изобретение относится к устройству электронно-лучевой зонной плавки тугоплавких и переходных металлов и сплавов для выращивания монокристаллов. Оно содержит вакуумную охлаждаемую плавильную камеру и электронную пушку с фокусирующими электродами. Нижний электрод выполнен в виде держателя, представляющего собой диск с центральным отверстием для установки обрабатываемого металла. Электроды соединен...

Изобретение относится к устройству электронно-лучевой зонной плавки тугоплавких и переходных металлов для выращивания монокристаллов. Устройство содержит вакуумную охлаждаемую камеру и электронную пушку с двумя фокусирующими электродами. Нижний электрод выполнен в виде диска с центральным отверстием для установки обрабатываемого металла. Фокусирующие электроды соединены между собой, по меньшей м...

Изобретение относится к способу получения высокочистого кобальта для распыляемых мишеней. Обрабатываемый материал в виде порошка хлорида кобальта помещают в реактор из огнеупорного материала, разогревают до температуры 700-750°С, пропускают через реактор осушенный водород при скорости подачи 300 мл/мин и продолжительности 60 мин для гетерогенного восстановления хлорида кобальта до порошка металл...

Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве распыляемых магнетронных мишеней в технологии производства кремниевых интегральных схем в микроэлектронике. Исходный материал в виде прутка металлического титана, полученного йодидным методом, помещают в лодочку реактора, выполненного из огнеупорного материала, разогревают до температуры 750-8...

Изобретение может быть использовано в области неорганической химии. Способ получения газообразного хлора включает проведение в реакторе окислительно-восстановительной реакции между бихроматом калия и концентрированной соляной кислотой. Скорость реакции и скорость потока образующегося газообразного хлора регулируют путем изменения температуры в реакторе в пределах 40-70°С, а газообразный хлор отв...

Изобретение относится к выращиванию плоских кристаллов из тугоплавкого металла электронно-лучевой зонной плавкой и устройству для его реализации. Способ включает размещение затравочного кристалла, установление на нем обрабатываемого металла, приложение разности потенциалов между источником электронов и обрабатываемым металлом, установление рабочего значения тока накала для создания равномерной з...

Изобретение относится к получению высокочистого молибдена для распыляемых мишеней. Способ включает очистку парамолибдата аммония в виде раствора от примесей ионным обменом в нейтральных и слабощелочных средах на гидратированном оксиде олова и на слабоосновном анионите АН-106. Затем ведут термическое разложение парамолибдата аммония при температуре 600-800°С до получения оксида молибдена и очистк...

Изобретение относится к получению высокочистого вольфрама для распыляемых мишеней. Способ включает очистку раствора паравольфрамата аммония от примесей сульфидом аммония и последующую очистку раствора ионным обменом на анионите АМ-п. Затем ведут термическое разложение паравольфрамата аммония при температуре 600-800°С до получения трехокиси вольфрама и очистку трехокиси вольфрама зонной сублимаци...

Изобретения относятся к получению высокочистого никеля. Техническая задача - резкое повышение чистоты никеля, предназначенного для распыляемых мишеней. Способ получения высокочистого никеля для распыляемых мишеней включает зонное хлорирование металлического никеля в токе газообразного хлора при температуре 940-970°С до получения порошка хлорида никеля. Затем ведут одностадийную сублимацию порошк...

Изобретение относится к способу получения высокочистого никеля для распыляемых мишеней и устройствам для его реализации. Технический результат - повышение чистоты никеля, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней. Способ включает хлорирование металлического никеля в токе газообразного хлора при температуре 940-970°С до получения порошка хлорида никеля. Зат...

Изобретение относится к способу и устройству для получения металлов восстановлением водородом. Способ включает гомогенное восстановление их летучих соединений водородом в реакторе из огнеупорного материала при подаче с транспортировкой аргоном летучего соединения восстанавливаемого металла и подаче водорода в зону восстановления. Восстановление ведут в реакторе, состоящем из зоны испарения и зон...

Изобретение относится к металлургии высокочистых металлов и может быть использовано при выращивании совершенных кристаллов переходных и тугоплавких металлов. В способе образец тугоплавкого металла в виде монокристалла с объемно-центрированной кубической (ОЦК) решеткой с ориентировкой роста <111> подвергают пластической деформации за один проход в плоскости прокатки <112> со степенью...

Изобретение относится к металлургии высокочистых металлов и может быть использовано при выращивании бикристаллов переходных металлов и их сплавов. Способ выращивания бикристаллов переходных металлов электронно-лучевой зонной плавкой металла с использованием бикристаллической затравки с известной ориентировкой роста границы включает размещение обрабатываемого монокристалла металла и затравки с пом...

Изобретение относится к области производства распыляемых металлических мишеней для микроэлектроники. Способ производства распыляемой мишени из сплава на основе высокочистого переходного металла из ряда: титан, ванадий, кобальт включает последовательное глубокое вакуумное рафинирование электронно-лучевым капельным переплавом металлокерамической заготовки высокой чистоты с получением слитка высокоч...