Кондратьев Ю.П.

 (19)SU(11)1228722(13)A3(51)  МПК 5    H01L21/306(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью изобр...

 Изобретение относится к области радиоэлектроники. Целью изобретения является расширение пределов подстройки частоты и повышение ее точности. Подстройку частоты кварцевого резонатора на поверхностных акустических волнах осуществляют после измерения его частоты и сравнения ее с заданной путем его нагрева в течение 20 - 40 мин. Температуру нагрева выбирают из выражения f/fo, где Т - температ...

 Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в резонаторах на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью изобретения является повышение технологичности конструкции резонатора. Резонатор на ПАВ содержит пьезоэлектрическую подложку 1, один или несколько встречно-штыревых преобразователей (ВШП) 2 ПАВ с электродами 3, расположенными в углублениях пьезоэлектрической подл...

  Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является увеличения выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты. В процессе формирования системы канавок отражательных решеток резонатора на поверхностных акустических волнах их дополнительно вытравливают на величину, равную 10 - 15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала из ка...

  Изобретение относится к радиоэлектронике. Цель изобретения - повышение качества изготавливаемых устройств. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах, включает формирование на пьезоэлектрической подложке токопроводящего слоя электродов и электрических шин встречно-штыревых преобразователей (ВШП), одновременное формирование между электрическими шинами ВШП токопрово...

 Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение точности настройки. Предварительную настройку частоты производят путем отжига кристаллов в атмосфере водорода при 250 - 450°С, а обработку в плазме аргона проводят в течение соответствующего времени. Проводится соотношение врем...

 Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления приборов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - повышение процента выхода годных приборов за счет увеличения точности подстройки центральной частоты прибора. В способе подстройки центральной частоты приборов на поверхностных акустических волнах, включающем измерение центральной частоты п...

 Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов. Обработку рабочей поверхности кристалла резонаторов пучком ионов аргона ведут при энергии 4 - 5 кэВ в течение 2 - 15 мин, а плазмохимическое травление проводят в течение 1 - 8 мин. 1 табл. Из...

  Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение процента выхода годных резонаторов за счет повышения адгезии фоторезиста к поверхности подложки. При обработке поверхности пьезоэлектрической подложки проводят ионно-химическое травление на глубину 80 - 120 нм, при этом использу...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - увеличение процента выхода годных резонаторов. В предложенном способе настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах перед измерением центральной частоты дополнительно проводят обработку резонатора в плазм...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Целью изобретения является повышение выхода годных резонаторов. Для этого в способе изготовления кристаллов резонаторов на поверхностных акустических волнах после напыления металла наносят второй слой фоторезистора, в котором вскрывают окна над структурами...

 Назначение: изобретение относится к электронной технике и направлено на создание неразрушающего метода контроля качества проработки линий в проводящем маскирующем материале на диэлектрической подложке. Сущность изобретения: сканирование контролируемой линии сфокусированным электронным зондом, регистрация сигнала вторичных электронов, эмитированных из поверхности, сканируемой электронным з...

 Изобретение относится к технике автоматического регулирования и может быть использовано в газопроводном транспорте для управления исполнительными устройствами регуляторов давления газа. Поставленная цель достигается тем, что управляющее устройство регулятора давления газа, содержащее корпус с управляющей и контрольной камерами, элемент настройки, связанный с чувствительным элементом, втул...

 Изобретение относится к технике транспортирования природного газа и может быть использовано на газораспределительных станциях (ГРС). Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение точности дозирования, защита окружающей среды и упрощение технического обслуживания. Технический результат достигается тем, что в известном одоризаторе газа, содер...

 Изобретение относится к технике автоматического регулирования газа и может быть использовано в газопроводном транспорте в системах, где к регулятору давления газа предъявляются повышенные требования по герметичности и ресурсу, в частности в блоках подготовки топливного и пускового газа (БТПГ). Целью изобретения является повышение надежности запорно-регулирующего органа прямоточного регуля...

 Устройство относится к технике транспортирования газа и может быть использовано на газораспределительных, компрессорных станциях и других объектах газопроводного транспорта. Изобретение расширяет области применения и повышает надежность переключающих устройств. Устройство содержит корпус с входным каналом и двумя выходными каналами, имеющими соосно расположенные седла. Между седлами и на...

 Изобретение относится к технике транспортирования природного газа и может быть использовано на газораспределительных станциях для нормированного ввода одоранта (этилмеркаптана) в газопровод, транспортирующий газ в населенные пункты, с целью придания ему специфического запаха для обнаружения возможных утечек. Технический результат изобретения - повышение долговечности одоризатора газа. Это...