Жидкостный насос, выполненный в виде мэмс, с встроенным датчиком давления для обнаружения нарушений функционирования
Изобретение относится к медицинскому насосному устройству. Устройство содержит насос, имеющий камеру, имеющую переменный объем, вход, соединенный с камерой насоса и содержащий клапан, выход, соединенный с камерой насоса и содержащий клапан. Привод выполнен с возможностью изменять объем камеры насоса. Путь для текучей среды включает вход, камеру насоса, выход и выходную линию, расположенную за вы...