Способ изготовления квантовых структур: квантовых точек, проволок, элементов квантовых приборов
Изобретение относится к микроэлектронике, наноэлектронике, полупроводниковой технике, к способам изготовления элементов квантовых приборов, структур с квантовыми эффектами. Сущность изобретения: способ изготовления квантовых объектов: точек, проволок и элементов квантовых приборов включает выращивание напряженной пленки из материала, имеющего постоянную кристаллической решетки, большую, чем матери...