Сорбционный вакуул^ный насосecec(*h)3:i.'^?? efth-j[li1w\- ih^ -: плт! i vь!:'~л!!;г;г,гд
СОЮЗ СОВЕТСКИХ COll ИАЛИСТИЧ ЕСКИХ РЕСПУБЛИК OIINCAНИЕ ИЗОБРЕТЕИИ И К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ go )gg)Q Класс -7d, Зв МПК F 04g Заявлено 11.1|.)963 (№ 820008, Л-6) ГОСЬДАРСТВЕННЫ И КОМИТЕТ По ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЪ|ТИИ СССР УДV, Опубликовано 18.Х.|963. Б!оллетень № 20 Подггиснс я гргггггггг . !5 И9 Заявитель Физико-технический институт AH УССР Ав)орь! изооретен 1я А. А....