Устройство для автоматического кон-троля больших интегральных схем намоп структурах
(11) wM UÕ З ФЪ ф Ч" фО ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Соки Советских Социалистических Ресиублик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.04.74 (21) 2015235j18-24 15 (; л 1 — - (0. G 01R 31, 28 1 (53) УДК 681,325.74 (088.8) с присоединением заявки ¹ Государственный комитет (23) Приоритет Опубликовано 30.03.76. Бюллетень ¹ 12 Дата onl oликования...