Способ получения герметичного корпуса микроэлектронного устройства с контролируемой средой в его внутреннем объеме
Способ предназначен для использования в сварочном производстве при герметизации микроэлектронных устройств (МЭУ) методом электронно-лучевой сварки с обеспечением в их внутреннем объеме контролируемой атмосферы. Основание 1 выполняют с фаской 3. Свариваемые кромки основания 1 и крышки 2 механически дорабатывают до необходимой шероховатости и обезжиривают химическим растворителем. В сборочно-сварочн...