Способ изготовления композиционного материала для стенки вакуумного электрофизического устройства
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО МАТЕРИАЛА ДПЯ СТЕНКИ ВАКУУМНОГО ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА с керамической подложкой, включаюпщй нанесение на подложку металлического слоя, отличающийс я тем, что, с целью повышения тепловой нагрузки на стенку и уменьшения газоотдачи материала стенки, на подложку из окиси бериллия наносят ионно-плазменным напылением . слой гафния толщиной 0,0...