Травитель для арсенида индия
Патент 1088586
Авторы
Классы МПК
Травитель для арсенида индия
Реферат
Травитель для арсенида индия, включающий бром и органический растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности процесса травления и снижения токсичности, в качестве органического растворителя травитель содержит ацетонитрил при следующем количественном соотношении компонентов, об.%: Бром - 0,1-2,5 Ацетонитрил - 97,5-99,9