Раствор для осаждения пленок алюмосиликатного стекла

Раствор для осаждения пленок алюмосиликатного стекла

Реферат

Раствор для осаждения пленок алюмосиликатного стекла, содержащий растворитель - этиловый спирт 96^o, тетраэтоксисилан, катализатор и азотнокислый алюминий(гидрат) с концентрацией в растворителе более 0,15 г/см³, отличающийся тем, что, с целью увеличения маскирующей способности пленки при диффузии бора и фосфора с поверхностной концентрацией более 10¹⁹см^-3, отношение массы азотнокислого алюминия к массе тетраэтоксисилана берут равным 1,5 - 4,0, а компоненты в следующем количественном соотношении, мас.%: Этиловый спирт 96^o - 60 - 80 Азотнокислый алюминий, гидрат - 15 - 32 Тетраэтоксисилан - 5 - 10.