Устройство для контроля планарных структур

Устройство для контроля планарных структур

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР, содержащее два оптических дефектоскопа, соединенные выходами с входами соответственно первого, и второго блоков преобразования оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, к входам строчной и кадровой синхронизации которых подключены соответственно первый и второй выходы синхронизатора, блок сравнения,- выход которого соединен с первым входом блока индикации, второй вход которого подключен к перв8му входу блока сравнения, о т л ичающееся тем, что, с целью повышения достоверности результатов контроля, в устройство введены первый и второй коммутаторы, управляющий триггер, первый и второй блоки распознавания метки, блок запуска, гене ратор тактовых импульсов, блок определения координат метки, первый элемент задержки, блок формирования задержки, блок переключения, блок счетчиков, первый счетный вход которого подключен к первому управляющему входу генератора тактовых импульсов, к первому счетному входу блока определения координат метки и к первому выходу синхронизатора, второй выход которого соединен с вторьм управляющим входом генератора тактовых импульсов и с информационным входом блока запуска, подключенного выходом к входу сброса управляющего триггера, второму счетному входу блока счетчиков и входу сброса блока определения координат метки, второй счетный вход которого соединен с тактовым входом . блока счетчиков, выходом генератора С тактовых импульсов, тактовым входом блока формирования задержки и первым , входом элемента задержки, второй вход которого подсоединен к первому выходу первого коммутатора, подключенного вторьм выходом к информационному входу бяока формирования задержки, первый и второй выходы второго коммутатора соединены соответственно с первым и вторым входами блока сравнения , первый и второй управляницие ю входы первого коммутатора соединены о соответственно с первым и вторым управляющими входами второго коьФ1утатора и с первым и вторым выходами управляющего триггера, второй выход управляющего триггера также соединен с первым управляющим входом блока определения координат метки, второй управляющий вход которого подключен к первому ршформационному входу управляющего триггера и выходу первого

(19) (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (S1) 4 G 06 F 15/46

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н д ВТОРО.10МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3702962/24-24 (22) 24. 02. 84 (46) 15. 07. 85 . Бюл. ¹- 26 (72) В.А.Лопухин, Н.П.Меткин, Д. К. Шеле c T Б.N. Ле беде в, А. С.Шумилин, А. Г. Михайлов, Г.H.ßâíîâ и М. Г. Крюков

{53) 681.396(088.8)

t (56) Патент ГДР № 215183, . кл. G 01 В 11/14, опублик. 1980.

Патент США ¹ 3909602, кл. G 01 N 21/32, опублик. 1975.

Авторское свидетельство СССР ¹ 813202., кл. 6 01 N 21 / 27, 1978. (54) (57) 1 ° УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР, содержащее два оптических дефектоскопа, соединенные выходами с входами соответственно первого, и второго блоков преобразования оптических сигналов в электричсские дискретные сигналы, к входам строчной и кадровой синхронизации которых подключены соответственно первый и второй выходы синхронизатора, блок сравнения,-выход которого соединен с первым входом блока индикации, второй вход которого подключен к нерввму входу блока сравнения, о т л ич а ю щ е е с я тем, час, с целью повышения достоверности результатов контроля, в устройство введены первый и второй коммутаторы, управляющий триггер, первый и второй блоки распознавания метки, блок запуска, гене» ратор тактовых импульсов, бпок определения координат метки, первый элемент задержки, блок формирования задержки, блок переключения, блок счетчиков, первый счетный вход которого подключен к первому управляющему входу генератора тактовых импульсов, к первому счетному входу блока опре- деления координат метки и к первому выходу синхронизатора, второй выход которого соединен с вторым управляющим входом генератора тактовых импульсов и с информационным входом блока запуска, подключенного выходом к входу сброса управляющего триггера, второму счетному входу блока счетчиков и входу сброса блока определения координат метки, второй счетный вход которого соединен с тактовым входом . блока счетчиков, выходом генератора тактовых импульсов, тактовым входом ( блока формирования задержки и первым ! входом элемента задержкИ, второй вход.: которого подсоединен к первому выходу первого коммутатора, подключенного вторым выходом к информационному входу блока формирования задержки, первый и второй выходы второго коммутатора соединены соответственно с первым и вторым входами блока сравнения, первый и второй управляющие входы первого коммутатора соединены соответственно с первым и вторым о управляющими входами второго коммутаL тора и с первым и вторым выходами управляющего триггера, второй выход управляющего триггера также соединен с первым управляющим входом блока определения координат метки, второй управляющий вход которого подключен к первому информационному входу управляющего триггера и выходу первого

7620

116 блока распознавания метки, третий управляющий вход — к выходу блока распознавания метки и второму информационному входу управляющего триггера, четвертый и пятый управляющий входы — соответственно к второму и третьему выходам блока счетчиков, выход которого подсоединен к управляющим входам первого и второго блоков распознавания метки, информационный вход первого блока распознавания метки соединен с выходом первого блока преобразования оптических сигналов

s электрические дискретные сигналы и с первым информационным входом первого коммутатора, информационный вход второго блока распознавания метки соединен с выходом второго блока преобразования оптических сигналов в электрические дискретные сигналы и с вторым информационным входом первого коммутатора, первый, второй и третий выходы блока определения координат метки соединены соответственно с первым, вторым и третьим входами блока переключения, четвертый вход которого подключен к выходу блока формирования задержки, первый и второй информационные входы второго коммутатора соединены соответственно с выходами блока переключения и элемента задержки, управляющий вход блока запуска является запускающими входом устройства.

2. Устройство по п. . 1, о т л нч а ю щ е е с я тем, что блок формирования задержки содержит m-1 вторых элементов задержки и m регистров сдвига, информационный вход первого из которых. соединен с информационным входом блока и входом первого элемента задержки, выход i-го элемента задержки подключен к информационному входу соответствующего регистра рдвига и входу (i+1)-го элемента задержки, тактовые входы регистров сдвига соединены с тактовым входом блока, выходы разрядов регистров сдвига являются выходом блока.

3. Устройство по и. 1, о т л ичающе е ся тем, что блок переключения содержит третий коммутатор, первый элемент ИЛИ, первый и второй дешифраторы, 2п четвертых коммутаторов, первые и вторые входы которых соеДинены соответственно с третьим и четвертым входами блока, третьи входи каждого иэ четвертых коммутаторов с первого по и подключены к соответствующим выходам первого дешифратора, третьи входы остальных четвертых коммутаторов — к соответствующим выходам второго дешифратора, входы первого и второго дешифраторов подсоединены соответственно к первым и вторым выходам третьего коммутатора, первый и второй входы которого соединены соответственно первым

I и вторым входом блока, выходы четвертых коммутаторов подключены к входам первого элемента ИЛИ, выход ко торо го являе тся выходом блока;

4. Устройство по п. 1, о т л ич ающе е с я тем, что блок определения координат метки содержит второй, третий и четвертый элемент ИЛИ, с первого по шестой эле. менты И, с первого по пятый SR-триггеры, сумматор, первый, второй и третий счетчики,. Т-триггер, элемент

ИСКЛОЧАЮЩЕЕ ИЛИ, первый вход которого подсоединен к знаковому разряду сумматора, первый и второй входы которого соединены соответственно с выходами второго и третьего счетчиков, входы сброса которых подключены соответственно к выходам второго и третьего элемента HJIH входы разрешения счета — соответственно к выходам пятого и шестого элементов И, счетные входы — к второму счетному входу блока, второй вход элемента ИСКДОЧАЮЩЕЕ ИЛИ соединен с первым управляющим входом блока, . счетный вход первого счетчике подключен к первому счетному входу блока, S-входам первого и второго SRтриггеров, вход разрешения счетак выходу Т-триггера, вход сброса— к входу сброса блока, R-входу Т-триггера, S-входу пятого SR-триггера, R-входам третьего и четвертого SRтриггеров, первым входам второго и третьего элементов ИЛИ, вторые входы которых соединены соответственно с выходами первого и второго элементов И, первые входы которых подключены к R-входам первого и второго

SR-триггеров и пятому управляющему

Г входу блока, второи вход первого элемента И подключен к второму входу третьего элемента И и инверсному входу третьего SR-триггера, S-вход которого соединен с первым входом четвертого элемента ИЛИ и, вторым управляющим входом блока, второй вход второго элемента И подключен к второму входу четвертого элемента И и инверсному выходу четвертого

SR-триггера, S-вход которого соединен с вторым входом четвертого элемента ИЛИ и третьим управляющим входом блока, выходы первого и .второго

SR-триггеров подключены соответственно к первым входам третьего и четвертого элементов И, выходы которых соединены соответственно с первыми

1167620 входами пятого и шестого элементов И, вторые входы которых подключены к выходу пятого SR-триггера, R-вход которого подключен к четвертому управляющему входу блока, выход четвертого элемента HJIH подключен к С-входу Т-триггера, выход элемента

ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, разрядные выходы сумматора и первого счетчика являются соответственно первым, вторым и третьим выходами блока. 10

Изобретение относится к электронной технике и предназначено для контроля планарных структур, к которым относятся незагерметизированные дискретные и интегральные полупровод- никовые структуры, толсто-пленочные платы гибридных интегральных микросхем, фотошаблоны.

Цель изобретения — повышение до I стоверности результатов контроля.

На фиг. 1 представлена структурная схема предлагаемого .устройства для контроля планарных структур; на фиг. 2 - структурная схема блока сравнения; на фиг. 3 — структурная схема первого (второго) коммутатора; на фиг. 4 — структурная схема управляющего триггера; на фиг. 5 — структурная схема первого (второго) блока распознования метки; на фиг. 6— структурная схема блока счетчиков; на фиг, 7 — структурная схема блока запуска; на фиг. 8 — структурная схема генератора тактовых импульсов; на фиг. 9 - структурная схема блока формирования задержки; на фиг. 10— структурная схема блока переключения; на фиг. 11 — структурная схема .третьего коммутатора; на фиг,. 12 — структурная схема блока определения координат метки.

Устройство содержит координатный стол 1, два оптических дефектоскопа 2, первый преобразователь 3 оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, второй преобразо35 ватель 4 оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, синхронизатор 5, блок 6 сравнения, блок 7 индикации, первый коммутатор 8, второй коммутатор 9, управляющий триггер 10, первый блок 11 распознования метки, второй блок 12 распознавания метки,. блок 13 запуска, блок 14 счетчиков, генератор 15 тактовых импульсов, блок 16 определения координат метки, элемент 17 задержки, блок 18 формирования задержки, блок 19 переключения, первая 20 и вторая 20 схемы совпадения, первый 211 и второй 21 инверторы, элемент ИЛИ 22, элементы И с 23 по 23, элементы ИЛИ 24 и 242 SR-TpHrrepbt 251 и 25, элементы И 26< и 26» регист. ры с 27„ по 27 сдвига, с 27„, по 27„„ разряды соответствующих регистров сдвига, электронное окно 28, коммутационные поля 29 и 29>, элемен И с. 30 f по 303, элеме И с 31 по 31>, первый 32 и второй 32 счетчики, дешифраторы 331 и 33»

SR-триггер 34, элемент И 35, элефмент 36 задержки, эмиттерный повторитель 37, инверторы с 38 по 38, резистор 39, конденсатор 40, регист.ры с 41 по 41„„сдвига, элементы с 421 по 42 „,.„задержки, третий коммутатор 43, первый 441 и второй 44 g коммутаторы, 2п четвертых коммутаторов 45, элемент ИЛИ 46, инвертор 47, информационные каналы с 481 по 48,, элементы И 49» и 49<, второй 50, третий 502 и четвертый 50 g элемен. ты ИЛИ, с первого 51 по шестой 51< элементы И, с первого 52 > по пятый 52 > SR-триггеры, первый 53, 0

3 116762 второй 53> и третий 53 счетчики, Т-триггер 54, сумматор 55, элемент

ИСКЛОЧА10ЩЕЕ ИЛИ 56, эталонная планарная структура 57, контролируемая планарная структура 58. 5

В устройстве обеспечивается повы I шение достоверности контроля за счет того, что" достигается электронное и автоматическое предварительное совмещение изображений контролируе- 10 мой и эталонной планарных структур.

В предлагаемом устройстве контроля планарных структур для выполнения требуемого совмещения изображений сравниваемых структур используются 15 имеющиеся на этих структурах техноло гические метки, т.е. в устройстве обеспечивается и контролируется точное совмещение изображений технологических меток, Корректность такого 20 подхода, т.е. использования для этой цели меток, определяется тем, что они. наносятся одновременно с основным рисунком (в одном технологическом цикле, с использованием одних и тех 25 же трафаретов, масок и т.н.), и поэтому координаты всей структуры могут быть идентифицированы координатами метки. Целесообразность использования меток для этой цели, т,е. для осуществления автоматического предварительного с высокой точностью совмещения сравниваемых планарных структур для последующего дефектоскопического контроля на блоке инди35 кации и включающего в себя распознавание структур, определение разности координат их взаимного положения и последующего электронного совмещения О пределяе тся простотой TexH fBIe c 40 кой реализации в этом случае, что, в свою очередь, определяется такими преимуществами меток, как четкий и прос— той геометрический рисунок (как пра-вило, прямолинейный контур), не боль- 45 шие (по отношению к основному рисунку) размеры и то, что метки отделены от основного рисунка (т.е. могут быть легко выделены),.

Устройство работает следующим 50 образом.

Сравниваемые планарные структуры 57 и 58 устанавливаются на координатный стол 1 и фиксируются. Увеличенные с помощью дефектоскопов 2 55 изображения контролируемой и эталонной планарных структур проецируются на мишени видиконов соответствующих преобразователей 3 и 4, в котарых происходит квантование, кодирование и фильтрация сигналов.

Преобразованные видеосигналы с выходов преобразователей 3 и 4 поступают соответственно на третий вход коммутатора 8 и на первый вход блока 11, на четвертый вход коммутатора 8 и первый вход блока 12.

Работа преобразователей 3 и 4, блоков 14 и 16, генератора 15 синхронизируется с помощью строчных и кадровых синхроимпульсов, поступающих с первого и второго выходов синхронизатора 5, причем тактовые импульсы, выдаваемые генератором 15, принудительно синхронизируются строчными и кадровыми синхроимпульсами.

Кроме того, кадровые синхронмпульсы, поступающие на второй вход блока 13, используются для упРавления работой устройства — включения его в цепь распознавания и совмещения.

Генератор 15 генерирует тактовые импульсы, синхронизированные со строчными и кадровыми синхронмпульсами, поступающими соответственно на его первый и второй входы. Тактовые импульсы обеспечивают работу

Ф регистров сдвига, входящих в состав блоков 11 и 12, блока 18 и элемента 17 задержки, а также обеспечивает работу блока 16, являясь носителями временной информации. С выхода генератора 15 тактовые импульсы поступают на первые .входы элемента 17 задержки и блока 18 и на третьи входы блоков 14 и 16..

Включение устройства и цикл распознавания и совмещения осуществляются по командному импульсу (подаваемому оператором путем нажатия соответствующей кнопки), поступающему

I на вход запуска блока 13, В результате, блок 13 обеспечивает пропуск одного иэ непрерывно поступающей на его второй вход последовательности синхроимпульсов кадрового синхроимпульса. Этот кадровый синхроимпульс разрешения совмещения поступает с выхода блока 13 на первый вход триггера 10 и на вторые входы блоков 14 и 16 и устанавливает их в исходное состояние, тем самым подготавливая и включая эти блоки в цикл распознавания и совмещения.

По командному импульсу, поступающему на вход блока 13, первый по вре3

1167 мени после этого кадровый синхроимпульс (разрешение совмещено) поступает на второй вход блока 14, который пропускает по этой команде из последовательности непрерывно поступающих на его третий вход тактовых импульсов m пачек по и тактовых импульсов, которые поступают с его первого выхода на вторые входы первого 11 и второго 12 блоков. Одновременно 10 и синхронно с этими импульсами на первые входы этих блоков поступает в темпе развертки информация с растра мишени видиконов соответствующих преобразователей 3 и 4. В результате, в электронные окна 28 блоков 11 и 12 записывается информация с части (или области) растра мишени види" конов соответствующих преобразователей 3 и 4, выделенной для распозна- 2п вания. При этом в блоках l1 и 12 происходит непрерывное сравнение получаемого в электронном окне 28

"изображения" с "изображением" метки, записанным в коммутационных полях 29. В момент совпадения этих

"изображений" первый 11 и второй 12 блоки распознавания метки выдают импульс распознавания, который с их выходов поступает соответственно на второй или третий входы триггера 10 и на четвертый или пятый входы блока 16. Так как в положении планарных структур на координатном столе 1. существует рассогласование, а считывание изббражений происходит строго

35 ,синхронно, то распознавание меток происходит в разные моменты времени.

Соответственно, в разные моменты .времени выдают импульсы распознава- 40 ния блоки 11 и 12. В зависимости от того., на какой вход триггера 10— второй или третий поступает первым импульс распознавания, т.е. в зависимости от того, на какой планарной структуре — контролируемой или эталонной метка распознается раньше, 1 триггер 10 выдает соответствующие управляющие воздействия на первый и второй входы коммутаторов 8 и 9 50 и на восьмой вход блока 16. В соответствии с этими воздействиями (т.е. в соответствии с тем, какая метка распознана раньше, а точнее, в соответствии с реальным простран- 55 ственным взаимным положением сравниваемых планарных структур) коммутатор 8 переключает видеосигналы со

620 своих тре тье го и че тве рто го в ходов на первый и второй выходы таким образом, чтобы видеосигнал изображения той планарной структуры, чья метка была распознана первой (опережающий видеосигнал), поступил на второй вход блока 18, а второй видеосигнал (отстающий) — на второй вход элемента 17 задержки. Коммутатор 9 обеспечивает выбранный режим контроля с использованием блока 7. Для того, чтобы на экране блока 7 разностная картина представлялась на фоне изображения эталонной структуры необходимо, чтобы на первый вход блока б.и второй вход блока 7 постоянно поступал видеосигнал, соответствующий изображению эталонной планарной структуры. Для этого необходимо синхронное переключение входов и выходов обоих коммутаторов 8 и 9, что осуществляется в устройстве за счет

Ф использования для управления ими одних и тех же управляющих воздействий, выдаваемых триггером l0. Эти же управляющие воздействия обеспечивают необходимую последовательность вычисления разности координат взаимного положения меток в блоке 16.

Кадровый синхроимпульс "Разрешение совмещения", поступая на второй вход блока 16, подготавливает (обнуляет) и включает его в работу. Блок 16 вычисляет разность координат между метками по осям Х (количество тактов) и У (количество строк) и таким образом определяет разность координат взаимного положения сравниваемых планарных структур. На четвертый и пятый входы блока 16 поступают импульсы распознавания с выходов первого 11 и второго 12 блоков. Эти импульсы разнесены по времени и характеризуют взаимное пространственное положение сравниваемых структур.

Определение разности координат по осям Х и У в блоке 16 происходит поразному. Разность координат по оси У определяется числом строчных синхроимпульсов, укладывающихся между первым и вторым импульсами распознавания. Эта разность всегда положительна. Определение разности коорди-. нат по оси Х происходит иначе.

В блоке 16 подсчитывается число тактовых импульсов от начала строки до момента поступления каждого из импульсов распознавания, эти значения

1167620 запоминаются, а затем вычитаются, причем, так как взаимное положение меток по оси Х не определяется тем, какая метка будет распознана первой, а блок 16 всегда выдает результат 5. вычитания иэ координаты метки, распознанной второй, координаты метки, распознанной первой (всегда именно в такой последовательности„ что обеспечивается поступающим с второго 10 выхода триггера 10 на восьмой вход блока 16 соответствующего управляющего воздействия), эта разность может иметь любой знак. Таким образом, блок 16 вычисляет разность ко- 15 ординат положения сравниваемых структур по оси У и абсолютную величину разности и знак разности координат по оси Х. Эти значения в виде соответствующего двоичного кода посту- 20 пают с первого, второго и третьего выходов блока 16 определения координат на первый, второй и третий входы блока 19..Для того, чтобы реализовать требуемое электронное совмеще- 25 ние и в том случае „ когда разность координат по оси Х отрицательна, т.е. возникает необходимость не задержать, а "ускорить" опережающий . видеосигнал, в устройстве предусмот- щ0 рено дополнительная временная задержка отстающего видеосигнала на время Il,тактовых импульсов. Эта временная задержка реализуется с помощью элемента 17 задержки, выполненного в виде регистра сдвига, содержащего соответственно и разрядов. Таким образом, на первый вход элемента 17 задержки поступает последова гельность тактовых импульсов, а на второй вход с первого выхода первого коммутатора 8 — отстающий видеосигнал. Этот видеосигнал, дополнительно задержанный, поступает с выхода элемента 17 задержки на четвертый вход коммутатора 9.

Блок 19 в соответствии с поступающими на его первый, второй .и третий входы двоичными кодами, харак теризующми разнос ь координат взаим-50 ного положения сравниваемых планарных структур, подключает к третьему входу коммутатора 9 выход требуемого одного разряда электронного окна, выбирая его из подключенных на его четвертый вход с выхода блока 18 выходов всех разрядов регистров сдвига электронного окна и подключая его на свой выход. Тем самым, формируется необходимая (требуемая) величина временной задержки для опережающего видеосигнала.

Опережающий видеосигнал поступает с второго выхода первого коммутатора 8 на второй вход блока 18, на первый вход которого поступают тактовые импульсы. Временная задержка осуществляется блоком 18 за счет того, что блок 19 подключает k третьему входу второго коммутатора 9 выход только одного (требуемого) разряда электронного окна блока 18, формируя таким образом из элементов этого блока элемент задержки, реализующий требуемую временную задержку опережающего видеосигнала, Таким образом, в предлагаемом устройстве реализуется электронное совмещение изображений сравниваемых планарных структур в блоке 7.

Второй коммутатор 9 обеспечивает постоянство подключения видеосигнала, соответствующего изображению эталонной структуры к первому входу блока 6, видеосигнал, соответствующий изображению контролируемой структуры, подключается к второму входу блока 6.

После выполнения совмещения изображений контролируемой и эталонной структур осуществляется сам процесс контроля, заключающийся в выделении

В дефектов контролируемой структуры.

В блоке 6 обеспечивается одновременное совмещение позитивного изображения контролируемой структуры с негативным изображением эталонной и негативного изображения контролируемой структуры с позитивным изображением эталонной и сложение этих разностных изображенжЪ. При сложении обоих разностных иэображений получаем .полную разностную картину, характеризующую отличие изображения контролируемой планарной структуры от эталонной. Этот разностный сигнал поступает с выхода блока 6 на первый вход блока 7. С целью визуального наблюдения изображения выделенных дефектов и их визуальной классификации при настройке устройства, анализе отказов интегральных схем и т.д. на второй вход блока 7 дополнительно подается сигнал, соответствующий позитивному изображению эта1167620 лонной структуры. В ре зуль тате сложения дв ух сиги алов в блоке 7 воспроизводится изображение выделенных дефектов на фоне частично подав-. ленного изображения эталонной топологии, что позволяет наиболее правильно классифицировать дефекты и осуществить отбраковку дефектных структур.

При необходимости цикл распозна- 10 вания, совмещения и анализа может быть повторен, для этого необходимо на вход запуска блока 13 подать командный импульс.

Первый коммутатор 8 видеосигнала 15 работает следующим образом.

На первый и второй входы первого коммутатора 8 поступают управляющие воздействия (в виде логической единицы "1" или "0") соответственно с первого и второго выходов триггера 10, а. на третий и четвертый— соответственно видеосигнал изображения контролируемой планарной структуры (с выхода блока 3) и видеосигнал изображения эталонной планарной структуры (с выхода блока 4). Таким образом, первый видеосигнал поступает на вторые входы второго 23 и третьего 23 элементов И, а вто- ЗО рой - на входы первого 23 и четвертого 23 элементов И. Если первой распознана метка на контролируемой планарной структуре, то на первый вход первого коммутатора 8 и соот- 35 ветственно на первые входы первого 23 .и второго 23 элементов И поступает логическая "1", т.е. на первом входе коммутатора 8 устанавливается "1™, а на втором остается "0". 40

В результате, видеосигнал иэображе ния контролируемой планарной структуры (в этом случае опережающий) с выхода второго элемента И 23 поступает на первый вход второго эле- 45 мента ИЛИ 24, с выхода которого образующего второй выход коммутатора 8, он поступает на второй вход блока 18, который и.обеспечивает требуемую временнуюзадержку этоговидео- 50 сигнала. Одновременно второй видеосигнал (отстающий) с выхода первого элемента И 23 поступает на первый вход первого элемента ИЛИ 241, с выхода которого, образующего пер- 55 вый выход коммутатора 8, он поступает на второй вход элемента 17 задержки. Если первой распознана метка на эталонной структуре, то на втором, входе коммутатора 8 устанавливается

"1", а на первом остается "0" и, в результате, на первый выход коммутатора 8 и соответственно на второй вход элемента 17 задержки поступает

1 видеосигнал изображения контролируемой планарной структуры (в этом случае отстающий), а на второй выход и соответственно на второй вход блока 18 — видеосигнал эталонной структуры (в этом случае опережающий).

Таким образом, на второй вход блока 18 всегда обеспечивается поступление опережающего видеосигнала.

Второй коммутатор 9 выполнен и работает аналогично первому коммутатору 8 видеосигнала, обеспечивая постоянство на своих выходах: на первом — видеосигнала, соответствующего эталонной планарной структуре, а, на втором — видеосигнала, соответствующего контролируемой планарной структуре, что достигается синхронностью работы обоих коммутаторов 8 и 9 видеосигнала. Синхронность работы обеспечивается общим управлением, осуществляемым триггером 10.

Триггер 10 работает следующим образом.

По команде "Разрешение совмещения" управляющий триггер 10 подготавливается к работе, а именно кадровый синхроимпульс "Разрешение совмещения" поступает на первый вход управляющего триггера 10 и. соответственно на R-входы первого 25 и второго 25

SR-триггеров, обнуляя их (на прямых выходах устанавливается "0", на инверсны с — "1"). В результате, на первых входах первого 26 и второго 26 элементов И устанавливаются "1", поступающие с инверсных выходов соответственно первого 25 1 и второго 25

SR-триггеров. Если первой распознана метка на контролируемой планарной структуре, то импульс распознавания с выхода первого блока !1 поступает на второй вход триггера 10 и соответственно на второй вход второго элемента И 26, иа первый вход которого

"1" уже подана. В результате, с выхода второго элемента И 26 сигнал поступает на S-вход первого SR-триггера 25 1, и он опрокидывается. При этом на его прямом выходе устанавливается "4", на инверсном - "О".

В результате, на первом входе элемен12

ll 116762 та И 26 устанавливается "0", т.е. он запирается и прохождение сигнала. (импульса распознавания) о распознавании метки на эталонной планарной структуре на S-вход второго SR-триггера 25 исключается. Таким образом, на первом выходе управляющего триггера 10 устанавливается "1", а на втором — "0". Если первой распознана метка на эталонной планарной атрукту- 1о ре, то триггер 10 работает аналогично, но н результате íà его первом выходе устанавливается "0", а на втором — "1".

Блок 1! работает следующимобразом.i 5

На первый вход блока 11 и соответственно на информационный вход первоro регистра 27» электронного окна 28 с выхода преобразователя 3 поступает квантованный по уровняю 20 и кодированный видеосигнал (в виде последовательности логических "1" и "0", причем метке соответствует" 1", а фону — "0"), соответствующий . контролируемой планарной структуре. 25

На его второй вход и соответственно на тактовые входы всех регистров 27 с первого выхода блока 14 поступают

m пачек из и тактовых импульсов, которые этот блок пропускает из не- Зд прерывно поступающей на его третий вход последовательности тактовых импульсов при поступлении на его второй вход кадрового синхроимпульса "Разрешение совмещения" (т.е. поступает с перного по и-й тактовые импульсы первой строки, затем пропуск, затем с первого по п-é тактовые импульсы второй строки, опять пропуск и т.д., по m-ю строку включительно). В соот- о нетствии с этим в регистры 27., образующие электронное окно 28, считывается информация с требуемого выделенного для распознавания участка растра мишени видикона преобразова- 4 теля 3, который имеет размеры nxm (т.е. m строк с первой по тп-ю и и тактов с первого по и-й). Записываемая информация последовательно смещается по, разрядам регистров 27 сдвига.5р

В соответствии с предварительными сведениями о конфигурации и размерах метки на коммутационных полях 29 до начала работы набирается ("записывается") их изображение, причем на пер-5> ном коммутационном поле 29 замыкаются контакты, соответстнующие конфигурации метки, а на втором поле 29 наоборот — контакты вне ее, остальные контакты разомкнуты. Так как входы всех контактных ячеек первого коммутационного поля 29 . подключены к прямым выходам соответствующих разрядов регистров 27 электронного окна 28, а входы второго коммутационного поля 29 — к их инверсным выходам, в момен т, сов паде ни я пе ре мещ ающе го ся по электронному окну 28 "изображения" с "изображением", записанным на комму" тационных полях 29, с выходов замкнутых контактных ячеек коммутационных полей 29 на все входы первого 301 и второго 30 элементов И поступает логическая "1", с выходов которых она поступает на соответствующие входы третьего элемента И 30 . В результате, на выходе третьего элемента И 30у и соответственно на выходе блока 11 появляется логическая "t" - импульс распознавания. Если хотя бы один рлемент "изображения", полученного в электронном окне 28, не совпадает с "изображением" первого коммутационного поля 291 (для прямых выходон соответствующих разрядов регистрон 27) или второго коммутационного поля 29 (для инверсных выходов тех же разрядов), то импульс распознавания блоком 11 метки не выдаетея, т.е. если метка на планарной структуре имеет иную, чем требуемая, конфигурацию, то она не распознается(и совмещение сравниваемых планарных структур, а следовательно, и дефектоскопия не производятся.

Блок 12 выполнен и работает аналогично блоку 11. Он осуществляет распознавание метки на эталонной планарной структуре.

Блок 13 работает следующим образом.

Исходно SR-триггер 34 находится в состоянии "0", таким образом, на втором входе элемента И 35 присутст» вует "0", что препятствует прохождению на вход блока кадровых сийхроимпульсов, поступающих на второй вход блока 13 и соответственно на первый вход элемента И 35. Как только на

S-вход SR-триггера 34 поступает командный импульс, имеющий потенциал

"1", SR-триггер опрокидывается в состояние "1". Поскольку его прямой выход подключен к второму входу элемента И 35, последний таким образом подготавливается к пропуску кадрово13 11676

ro синхроимпульса из последовательности непрерывно поступающих на его первый вход кадровых синхроимпульсов.

Первый после этого поступивший на второй вход блока 13 и соответственно на первый вход элемента И 35 кадровый синхроимпульс поступает с выхода элемента И 35 на выход и на вход элемента 36 задержки. После необходимой задержки, обеспечивающей пропуск 10 только одного кадрового синхроимпульса, этот импульс поступает с выхода элемента 36 задержки íà, R-вход SRтриггера 34 и устанавливает его в исходное состояние "О"., тем самым снимая "1" с второго входа элемента И 35, т.е. запирая его, препятствуя: прохождению последующих кадровых синхроимпульсов на выход блока. В результате, блок 13 переводится в исходное состояние.

Блок 14 работает следующим образом.

После того, как кадровый синхронмпульс "Разрешение совмещения" с выхо- 5 да блока 13 поступает íà R-вход (вход обнуления) второго счетчика 32, происходит сброс (обнуление) этого счетчика, и он подготавливается к новому циклу работы (счета). Связанный 30 с этим счетчиком второй дешифратор 33

I устроен и работает так, что при наличии на его входе соответствующего текущему значению номера строки с первой по m-ю Hà его выходе присут-З5 ствует сигнал, который снимается, как только текущее значение номера строки становится больше m. Таким образом, после обнуления второго счетчика 32 на выходе второго дешн- 40 фратора 33> появляется сигнал, который поступает на третий вход третьего элемента И 315 и второй вход первого элемента И 31, обеспечив тем самым пропуск поступающих на первый 45 вход первого элемента И 31< строчных синхроимпульсов на счетный вход второго счетчика 32 . Аналогично каждый из строчных синхроимпульсов, поступая на R-вход (вход обнуления) 50 первого счетчика 321, обеспечивает сброс (обнуление) этого счетчика и, тем самым, подготовку его к новому циклу работы (счета) . Связанный с этим счетчиком первый дешифратор 33.55 устроен и работает так, что при наличии на его входе кода, соответствующего текущему значению номера такто20 14 вого импульса с первого по и-й (в каждой строке), на его выходе присутствует сигнал, который снимается, как только текущее значение номера тактового импульса становится больше и. Таким образом, после обнуления первого счетчика 321 на выходе перво"

ro дешифратора 33 появляется сигнал, который поступает на второй вход третьего элемента И 31> и второй вход второго элемента И 31, обеспечив, тем самым, пропуск поступающих на первый вход второго элемента И 31> тактовых импульсов на счетный вход первого счетчика 32 1. В результате, после поступления на его второй вход кадрового синхроимпульса "Разрешение совмещения" блок 14 подготавливается к пропуску на его первый выход поСтупающих на его третий вход тактовых импульсов в требуемом для этого количестве и порядке (m последовательностей из п тактовых импульсов или m пачек по и тактовых импульсов с требуемым временным интервалом между ними), что осуществляется следующим образом. Наличие на втором и третьем входах третьего элемента И 31 сигналов, поступающих с выходов соответственно первого 33 и второго 33z дешифраторов, обеспечивает пропуск поступающих на его первый вход тактовых импульсов на первый выход бло-: ка 14. После отсчета первых и такто" вых импульсов на выходе первого дешифратора 33 и соответственно на вторых входах второго 31 и третьего 31>. элементов И сигнал снимается и;- тем самым, прекращается поступление тактовых импульсов соответственно на

1 счетный вход первого счетчика 321