Способ измерения удельного контактного сопротивления

Способ измерения удельного контактного сопротивления

Реферат

 

Способ измерения удельного контактного сопротивления, включающий создание p-n-перехода в полупроводниковой подложке, нанесение четырех металлических контактов, расположенных на одной линии, подключение зондов к контактам, пропускание тока I через первый и четвертый контакты, измерение падения напряжения U ₁ между первым и вторым, а также U₂ между вторым и третьим контактами, вычисление удельного контактного сопротивления по формуле

где U = U₁ - U₂;

S _к - площадь контакта,

отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем компенсации систематической погрешности, одновременно с нанесением четырех контактов производят нанесение пятого дополнительного контакта, расположенного на одной линии перед первым контактом, перед пропусканием тока через первый и четвертый контакты осуществляют пропускание тока между пятым дополнительным и четвертым контактами и балансируют схему измерения падений напряжений.