Способ изготовления многослойных структур n+pnpp+ типа

Способ изготовления многослойных структур n+pnpp+ типа

Реферат

 

1. Способ изготовления многослойных структур n⁺-p-n-p-p⁺ типа силовых тиристоров, включающий создание на p-n-p-структуре маскирующей пленки, локальной со стороны катода и сплошной со стороны анода, загонку донорной примеси, полное удаление маскирующей пленки, осаждение на анодную сторону раствора, содержащего соединения бора, складывание пластин в стопку и разгонку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических параметров тиристора за счет повышения однородности подлегирования бором шунтов и управляющего электрода со стороны катода и создания неоднородного распределения времени жизни неосновных носителей заряда в n-базе, на анодную сторону осаждают раствор, содержащий 6 - 50 мас.% соединения бора, а на катодную сторону дополнительно осаждают раствор, содержащий 0,25 - 3,0 мас.% соединения бора, и складывают пластины одноименными сторонами одна к другой.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на анодную сторону осаждают раствор, содержащий компоненты в следующем количественном соотношении, мас.%: Этиловый спирт (96^o) - 10 - 39 Вода - 5 - 15 Алюминий азотнокислый, гидрат - 4,5 - 24,9 Триэтоксибор - 6 - 50 Катализатор (кислота азотная, концентрированная) - 0,1 - 0,5 Тетраэтоксисилан - 15 - 30 а на катодную сторону осаждают раствор, содержащий компоненты в следующем количественном соотношении, мас.%: Этиловый спирт (96^o) - 40 - 60 Вода - 5 - 15 Алюминий азотнокислый, гидрат - 4,5 - 19,6 Борная кислота - 0,25 - 3,0 Катализатор (кислота азотная, концентрированная) - 0,15 - 0,5 Тетраэтоксисилан - 15 - 37