Способ обработки тонких проводящих пленок моп- и мп-систем

Способ обработки тонких проводящих пленок моп- и мп-систем

Реферат

 

Способ обработки тонких проводящих пленок МОП- и МП-систем путем воздействия на них импульсным электромагнитным полем, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии пленок и снижения разброса ее величины по площади подложки, воздействие осуществляют при следующих параметрах электромагнитного поля:

энергия в импульсе W = K_w (Дж),

частота числом импульсов от 1 до 10,

где K_w = 1,786·10¹¹(0,1 - 1,2) Дж/Ом·м и K _f = 26,79·10¹¹(0,1 - 1,0) Гц/Ом - коэффициенты пропорциональности;

- удельное электросопротивление пленки (Ом·м);

S - толщина пленки (м).