Способ изготовления тестовых структур для электронно- зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути p-типа проводимости

Способ изготовления тестовых структур для электронно- зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути p-типа проводимости

Реферат

Способ изготовления тестовых структур для электронно-зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути р-типа проводимости, включающий обработку поверхности исходного кристалла полирующим бромсодержащим составом с последующим напылением медленно диффундирующих металлов из ряда: Al, Cr, Pb, Mn, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества тестовой структуры за счет повышения ее чувствительности в режиме наведенного тока для диагностики материала теллурида кадмия-ртути, перед напылением металла в течение 10 мин проводят плазменную обработку поверхности теллурида кадмия-ртути в ВЧ диодной системе в атмосфере Ar при давлении от 510^-3 до 510^-1 Торр и величине удельной мощности от 0,06 до 0,9 Вт/см².