Способ изготовления силовых быстровосстанавливающихся диодов

Способ изготовления силовых быстровосстанавливающихся диодов

Реферат

Способ изготовления силовых быстровосстанавливающихся диодов, включающий облучение диодных структур ускоренными электронами с энергией 1 - 3 МэВ, дозой 5 10¹³ - 5 10¹⁴ см² и последующий отжиг, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности труда, отжиг проводят в нестационарном режиме импульсом некогерентного света от галогенных ламп накаливания, причем нагрев проводят со скоростью 1,7 - 1,9^oC/с в течение импульса засветки 170 - 190 с от 20 3^oC до максимальной мгновенной температуры структуры 340 - 380^oC, а охлаждение проводят со скоростью 1,7 - 1,9^oC/с по окончании импульса засветки.