Способ обработки поверхности полупроводников
Патент 221176
Авторы
Классы МПК
Способ обработки поверхности полупроводников
Реферат
Способ обработки поверхности полупроводников, например германия, соединениями серы при температуре 430 - 450oC, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса сульфидирования, поверхность германия подвергают воздействию безводного сероводорода.