Элемент интегральной оптики
Патент 699926
Авторы
- Бекирев У.А.
- Емельянов А.В.
- Кононов А.В.
- Лаврищев В.П.
- Маслобоев Ю.П.
- Михеев А.Д.
- Полторацкий Э.А.
- Шокин А.Н.
Классы МПК
Элемент интегральной оптики
Реферат
Элемент интегральной оптики, волноводные области которого ограничены с двух противоположных сторон слоями структуры, а с двух других сторон - областями с меньшим показателем преломления, отличающийся тем, что, с целью улучшения волноводных свойств элемента при одновременном создании его сложной конфигурации на глубине до 50 мкм, области с меньшим показателем преломления выполнены из собственного термического окисла полупроводникового материала.