Травитель для поликристаллического кремния, легированного кислородом
Патент 871685
Авторы
Классы МПК
Травитель для поликристаллического кремния, легированного кислородом
Реферат
Травитель для поликристаллического кремния, легированного кислородом, содержащий водный раствор дифторида ксенона, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества поверхности кремниевых подложек и снижения стоимости технологического процесса, он дополнительно содержит плавиковую кислоту при следующих соотношениях компонента, мас.%: Плавиковая кислота - 0,75 - 10 Дифторид ксенона - 0,05 - 1,0 Вода - 89,0 - 99,2