Распыляемая мишень на основе оксида галлия-оксида цинка, способ формирования тонкой прозрачной проводящей пленки и тонкая прозрачная проводящая пленка
Изобретение относится к распыляемой мишени для получения тонкой прозрачной проводящей пленки. Распыляемая спеченная мишень на основе оксида галлия-оксида цинка содержит 0,002-0,05 мас.% оксида алюминия и имеет плотность после спекания 5,55 г/см3 или выше. В частных случаях осуществления изобретения распыляемая мишень содержит 0,1-10 мас.% оксида галлия, имеет удельное сопротивление 3,0 мОм·см ил...