Сносов вскрытия монокристллличёских островков кремния в структурр, для интегральных схем
О 11-К :А Н И Е 382l74 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства X. —— 41, Кл H О1/ 7/3>! Зляв !etio 30.VI1.71 (21) 1689009/23-26 с присос;(!и(< l(ltci! зл t!)t;н ¹-1осударстаенный комите) Совета Министроа ГССР по делам изобретений и открытий 11риорит(т —— О:I i1IlOI7)C70lllll>1X i1OIIO7IITIIb...