Способ изготовления дифракционных решеток рельефного типа на поверхности полупроводниковых материалов
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советсиин Социапистическин Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Запвлеио 05.06.78 (2 I ) 2624219/18 10 I (51)M. Кл. С 02 В 5/14 с присоединением заявки М " Всудерственный каннтет СССР ао делам нэебретеннй н отнрытнй (23)ПриоритетОпубликовано05.02.80. Бюллетень М 5 (53) УДК 535.421 (088.8) Дата опубликова...